群馬県立産業技術センター

Gunma Industrial Technology Center

機器情報 詳細

低真空走査電子顕微鏡(SEM)

名称 低真空走査電子顕微鏡(SEM)
メーカー 日本電子㈱
型式 JSM-5600LV/JED-2200
仕様 分解能:3.5nm(高真空モード),5.0nm(低真空モ-ド,EDS:B~Uの元素分析可能
用途 電子顕微鏡観察・分析を試料の前処理なしで行う
分類 形態観察
購入年度 1999年度
設置場所 群馬産業技術センター(前橋)
補助事業名
  • 中小企業庁技術開発研究費補助