機器情報 詳細
高機能電子線マイクロアナライザー
| 名称 | 高機能電子線マイクロアナライザー |
|---|---|
| メーカー | （株）島津製作所 |
| 型式 | EPMA-8050G |
| 仕様 |
・固体試料に細く絞った電子線を照射し、試料から発生する特性X線を検出することにより、試料微小部を分析する装置です。電界放射型電子銃により空間分解能が飛躍的に向上し、従来機では困難であった数百ナノメートル領域での表面形態観察や元素組成分析が可能です。 ■電子銃 ショットキーエミッタ（電界放射型電子線銃） 二次電子像分解能：3nm（加速電圧30kV） 分析条件により変動 ■X線分光器 波長分散型5チャンネル（分析元素：ホウ素（5B）～ウラン（92U）） エネルギー分散型（型式：EDAX Octane Elect） ■試料形状・サイズ 通常 25mmφ×10mm厚以下 |
| 用途 |
・異物や不具合製品の表面微小部の元素定性分析 ・線分析、面分析による元素の分布状態分析 ・二次電子像や反射電子像により表面形態観察 |
| 分類 | 機器分析 |
| 購入年度 | 2019年度 |
| 設置場所 | 群馬産業技術センター(前橋) |
| 補助事業名 |
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