機器情報 詳細
飛行時間型二次イオン質量分析装置
| 名称 | 飛行時間型二次イオン質量分析装置 |
|---|---|
| メーカー | アルバック・ファイ(株) |
| 型式 | PHI nanoTOF |
| 仕様 |
■励起源（一次イオン照射系） ビスマスイオン銃 ■スパッタイオン銃 Arガスクラスターイオン銃（GCIB） ■分析系 飛行時間型質量分析計、三重収束型静電アナライザー ■付属品 トランスファーベッセル |
| 用途 |
本装置は、固体試料表面に一次イオン(Bi)ビームを照射し、その表面から放出される二次イオンを質量分離して、固体表面を同定します。質量分析器には飛行時間型を用いており、精密質量分析が可能です。 電子デバイス、セラミックス、金属、樹脂材料等のナノスケール表面の無機・有機化合物を高感度に分析するとともに、その分布状態をイメージングすることが可能です。さらに、低損傷スパッタリングを併用し、表面から深さ方向に二次イオンを測定することにより、三次元的に観察できます。また、トランスファーベッセルを使用し、試料を大気に触れさせることなく装置に導入することも可能です。 |
| 分類 | 機器分析 |
| 購入年度 | 2018年度 |
| 設置場所 | 群馬産業技術センター(前橋) |
| 補助事業名 |
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