| 名称 | 薄膜機械特性評価システム（ナノインデンテーション） |
|---|---|
| メーカー | 日本電子(株) |
| 型式 | JSPM-4210 |
| 仕様 |
○走査型プローブ顕微鏡 走査方式 試料走査方式 スキャナ チューブ型スキャナ 変位検出系 光テコ方式 ○トライボスコープ 荷重制御 静電気力方式 変位検出 静電容量方式 |
| 用途 |
走査型プローブ顕微鏡を用いた凹凸像を取得することが出来ます。 薄膜試料のナノインデンテーション試験が行えます。 |
| 分類 | 表面処理・評価 |
| 購入年度 | 2001年度 |
| 設置場所 | 群馬産業技術センター(前橋) |
| 補助事業名 |
|