機器情報 詳細
広域大段差対応白色干渉計
| 名称 | 広域大段差対応白色干渉計 |
|---|---|
| メーカー | zygo |
| 型式 | nexview |
| 仕様 |
○測定原理 コヒーレンス走査型干渉法（CSI） 位相シフト干渉法（PSI） ○ 最大垂直走査範囲 150μm（ピエゾスキャン） 20mm（モータスキャン） ○試料ステージ 300mm×300mm（サイズ） ±100mm（可動範囲） 164㎜（高さ方向のレンズまでの最大サイズ） |
| 用途 |
人工心臓の弁や人工関節等インプラント部品の表面性状や、注射針、内視鏡部品、光学用レンズ等など、３Ｄ画像による微細形状部の高精度測定が可能です。 特に高さ方向は、オングストローム台の高精度な測定が可能。 |
| 分類 | 機械計測 |
| 購入年度 | 2015年度 |
| 設置場所 | 群馬産業技術センター(前橋) |
| 補助事業名 |
|
