機器情報 詳細
低真空走査電子顕微鏡（JSM-IT500HR）
| 名称 | 低真空走査電子顕微鏡（JSM-IT500HR） |
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| メーカー | 走査電子顕微鏡（日本電子株式会社）、エネルギー分散型X線分析装置（サーモフィシャーサイエンティフィック株式会社） |
| 型式 | 走査電子顕微鏡（JSM-IT500HR）エネルギー分散型X線分析装置（NORAN System 7） |
| 仕様 |
■走査電子顕微鏡 （SEM、日本電子株式会社 JSM-IT500HR） ・電子銃 ：高輝度電子銃 ・撮影倍率 ：5倍～600,000倍 ・分解能 ：高真空時 1.5nm（30kV）、4.0nm（1.0kV） 低真空時 1.8nm（15kV） ・低真空範囲：10～150Pa ・自動機能 ：焦点、非点、明るさ、コントラスト ■エネルギー分散型X線分析装置 （EDS、サーモフィシャーサイエンティフィック株式会社 NORAN System 7） ・検出範囲 ：ホウ素（B）～ウラン（U） ・測定方法 ：点分析、線分析、面分析、相分析 |
| 用途 |
・微小試料の表面構造を鮮明に観察できます。 ・不具合製品や異物など微小領域の元素分析できます。 ・オートフォーカス、オートコントラスト機能などにより画像観察が簡単に行えます。 ・元素分析（EDS）では点分析、線分析、面分析、相分析が可能です。 |
| 分類 | 形態観察 |
| 購入年度 | 2017年度 |
| 設置場所 | 群馬産業技術センター(前橋) |
| 補助事業名 |
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