飛行時間型二次イオン質量分析装置のご紹介
～各種材料のナノメータースケール表面の化学状態を解析します～
試料表面に付着する成分の定性分析、面分析、深さ方向分析が行えます。
| 機器名 | 飛行時間型二次イオン質量分析装置 |
|---|---|
| 型式 | PHI nano TOF |
| メーカー名 | アルバック・ファイ(株) |
| 外観写真 |  |
| このような試験が可能です （用途） | 本装置は、固体試料表面に一次イオン(Bi)ビームを照射し、その表面から放出される二次イオンを質量分離して、固体表面を同定します。質量分析器には飛行時間型を用いており、精密質量分析が可能です。 電子デバイス、セラミックス、金属、樹脂材料等のナノスケール表面の無機・有機化合物を高感度に分析するとともに、その分布状態をイメージングすることが可能です。さらに、低損傷スパッタリングを併用し、表面から深さ方向に二次イオンを測定することにより、三次元的に観察できます。また、トランスファーベッセルを使用し、試料を大気に触れさせることなく装置に導入することも可能です。 |
| 仕様 | ■励起源（一次イオン照射系） ビスマスイオン銃 ■スパッタイオン銃 Arガスクラスターイオン銃（GCIB） ■分析系 飛行時間型質量分析計、三重収束型静電アナライザー ■付属品 トランスファーベッセル |
| 設置場所 | 群馬産業技術センター（前橋） |
| 担当係 | 材料解析係 |
| 連絡先 | ＴＥＬ：０２７－２９０－３０３０ |
| 導入年度 | 平成３０年度 |
| 補助事業名 | 地方創生拠点整備交付金事業 |
| 機器名 | 飛行時間型二次イオン質量分析装置 |
| 型式 | PHI nano TOF |
| メーカー名 | アルバック・ファイ(株) |
| 外観写真 | |
| このような試験が可能です （用途） | 本装置は、固体試料表面に一次イオン(Bi)ビームを照射し、その表面から放出される二次イオンを質量分離して、固体表面を同定します。質量分析器には飛行時間型を用いており、精密質量分析が可能です。 電子デバイス、セラミックス、金属、樹脂材料等のナノスケール表面の無機・有機化合物を高感度に分析するとともに、その分布状態をイメージングすることが可能です。さらに、低損傷スパッタリングを併用し、表面から深さ方向に二次イオンを測定することにより、三次元的に観察できます。また、トランスファーベッセルを使用し、試料を大気に触れさせることなく装置に導入することも可能です。 |
| 仕様 | ■励起源（一次イオン照射系） ビスマスイオン銃 ■スパッタイオン銃 Arガスクラスターイオン銃（GCIB） ■分析系 飛行時間型質量分析計、三重収束型静電アナライザー ■付属品 トランスファーベッセル |
| 設置場所 | 群馬産業技術センター（前橋） |
| 担当係 | 材料解析係 |
| 連絡先 | ＴＥＬ：０２７－２９０－３０３０ |
| 導入年度 | 平成３０年度 |
| 補助事業名 | 地方創生拠点整備交付金事業 |
