低真空走査電子顕微鏡のご紹介
～ 微小領域を観察・元素分析できます ～
群馬産業技術センターに「低真空走査電子顕微鏡」（走査電子顕微鏡（SEM）及びエネルギー分散型X線分析装置（EDS））を導入しました。機械金属工業分野などにおける不具合製品の原因解明や新製品開発に是非ご利用ください。
| 機器名 | 低真空走査電子顕微鏡（JSM-IT500HR） |
|---|---|
| 型式 | 走査電子顕微鏡（JSM-IT500HR） エネルギー分散型X線分析装置（NORAN System 7） |
| メーカー名 | 走査電子顕微鏡（日本電子株式会社） エネルギー分散型X線分析装置 （サーモフィシャーサイエンティフィック株式会社） |
| 外観写真 |  |
| このような試験が可能です （用途） | ・微小試料の表面構造を鮮明に観察できます。 ・不具合製品や異物など微小領域の元素分析できます。 ・オートフォーカス、オートコントラスト機能などにより画像観察が簡単に行えます。 ・元素分析（EDS）では点分析、線分析、面分析、相分析が可能です。 |
| 仕様 | ■走査電子顕微鏡 （SEM、日本電子株式会社 JSM-IT500HR） ・電子銃 ：高輝度電子銃 ・撮影倍率 ：5倍～600,000倍 ・分解能 ：高真空時 1.5nm（30kV）、4.0nm（1.0kV） 低真空時 1.8nm（15kV） ・低真空範囲：10～150Pa ・自動機能 ：焦点、非点、明るさ、コントラスト ■エネルギー分散型X線分析装置 （EDS、サーモフィシャーサイエンティフィック株式会社 NORAN System 7） ・検出範囲 ：ホウ素（B）～ウラン（U） ・測定方法 ：点分析、線分析、面分析、相分析 |
| 設置場所 | 群馬産業技術センター（前橋） |
| 担当係 | 材料解析係 |
| 連絡先 | ＴＥＬ：０２７－２９０－３０３０ |
| 導入年度 | 平成２９年度 |
| 補助事業名 | 平成２９年度 公益財団法人JKA 小型自動車等機械振興補助事業 （オートレースの補助）  |
