群馬県立産業技術センター

Gunma Industrial Technology Center

高機能電子線マイクロアナライザーのご紹介

機器名 高機能電子線マイクロアナライザー
型式 EPMA-8050G
メーカー名 株式会社島津製作所
外観写真
このような試験が可能です (用途) ・異物や不具合製品の表面微小部の元素定性分析
・線分析、面分析により元素の分布状態分析
・二次電子像や反射電子像による表面形態観察
利用例 赤錆の生じた鉄鋼試料の定性分析、面分析、状態分析(PDF524KB)
仕様 ■電子銃
 ショットキーエミッタ(電界放射型電子線銃)
 二次電子像分解能:3nm(加速電圧30kV) 分析条件により変動
■X線分光器
 波長分散型5チャンネル (分析元素:ホウ素(5B)~ウラン(92U))
エネルギー分散型 (型式: EDAX Octane Elect)
■試料形状・サイズ
 通常 25mmφ×10mm厚以下
 試料は真空中に導入します。
 必要に応じて、金コーティングなどの導電処理を施します。
 樹脂包埋、研磨、イオンミリング等の前処理についてはご相談下さい。
設置場所 群馬産業技術センター(前橋)
担当係 材料解析係
連絡先 TEL:027-290-3030
導入年度 令和元年度
補助事業名 地方創生推進交付金事業