群馬県立産業技術センター

Gunma Industrial Technology Center

三次元精密測定機のご紹介


~ 製品の長さ、位置、形状(寸法)を3次元で高精度に測定することができます ~

本装置は、プローブ(接触子)を被測定物に接触・移動させて、立体上の点をX、Y、Zの3座標で精密に測定します。

機器名 三次元精密測定機
型式 UPMC850/700 CARAT HSS
メーカー名 カールツァイス
外観写真
このような試験が可能です (用途) ・立体物の寸法などの高精度な測定に利用されています。
・立体物の断面のならい測定による形状評価が可能です。
・三次元CADデータを取り込んで測定することも可能です。
特徴 ・類似の三次元測定機を保有している公設試は他にもあります。精度としては関東圏最高レベルです。
・製品の長さ、位置、形状(寸法)を三次元で高精度に測定することが出来ます。
・プローブ(接触子)を被測定物に接触・移動させて、立体上の点をX、Y、Zの3座標で精密に測定します。
・門移動型で、接触測定・スキャンニング測定可能です。
仕様 測定範囲:850×700×600mm
測定精度:(0.8+L/600)μm
(L:測定長mm)
主な機能 ・プローブ(接触子)を測定対象物に接触させて寸法や形状を測定します。
・プローブ(接触子)は 0.8mm ~ 8.0mm の球を用いています。


【プローブ(接触子)先端】




利用例 ●検査治具などの寸法測定や製品の寸法・形状評価






・面円線等の幾何形状を測定し、穴位置や寸法を評価
・真円度等の形状を多点で測定することでのより詳細な形状評価

【メリット】
    ・高精度な測定により信頼性の高い寸法評価が可能です
    ・スタイラスの自由度が高く、複雑形状への対応が可能です
    ・CADデータを取り込むことで測定プログラム作業の効率化が可能です


●スキャニング測定を利用した輪郭形状評価

・2次元的な形状を持つサンプルの輪郭形状評価について紹介します




・スキャニング測定を利用し、輪郭形状を高精度に高密度な断面点群として測定します





→ この点群はCADで読めるフォーマットで出力可能(例:dxf、igs、asc 他)
→ 断面カーブとしての出力も可能

・測定点群と設計値CADデータを比較することで断面点群の形状誤差の評価をカラーマップで作成することが可能です

【メリット】
 ・全体の形状の傾向を視覚的に把握することが可能です
 ・測定点群をCADに取り込むことで、自社においてより詳細な評価に利用できます
 ・マスターサンプル形状を設計値にすることもできますので、摩耗部品の摩耗前後形状を比較した摩耗量の評価等にも応用できます


●ロータリーテーブルを利用した歯車評価




・ロータリーテーブルを使用することで歯車(平歯車)評価が行えます
・ねじのピッチや有効径等の評価にも応用できます

【メリット】
・ロータリーテーブルによりヘリカルギアの評価が可能です。
・大型ワークや複雑形状ワークについてもロータリーテーブルで対応できるケースがあります


これら以外にも機能がございますので、測定でお困りのことがございましたらご相談下さい
測定能力 (精度) ・JIS B 7440-2 に準拠した精度確認結果を下図に示します


・20 mm、100 mm、200 mm、300 mm、400 mm、500 mm、及び600 mm(600 mmはX軸方向のみ)のブロックゲージについて軸方向に3方向、対角方向に4方向の測定を実施しました
・グラフの横軸は測定長さ、縦軸は指示誤差(指示すべき値からの差)、赤線は測定機の保証精度の上限・下限を示しています
・いずれの測定も指示誤差が小さく、最大偏差も1μm未満です
・最高精度を保証する三次元測定機と同等レベルでの測定が可能です
※本測定は、地域イノベーション事業(CMM)で実施されたものです
備考 試験品を固定するための冶具が必要になる場合があります。
製作は依頼主側でお願いします。
設置場所 東毛産業技術センター(太田)
担当係 技術支援係
連絡先 TEL:0276-40-5090
導入年度 1995年度
補助事業名 その他