| 機器名 | 広域大段差対応白色干渉計 |
|---|---|
| 型式 | nexview |
| メーカー名 | Zygo社 |
| 外観写真 |  |
| このような試験が可能です （用途） | 人工心臓の弁や人工関節等インプラント部品の表面性状や、注射針、内視鏡部品、光学用レンズ等など、３Ｄ画像による微細形状部の高精度測定が可能です。特に高さ方向は、オングストローム台の高精度な測定が可能です。 |
| 仕様 | ・測定原理 ： コヒーレンス走査型干渉法（CSI）、位相シフト干渉法（PSI） ・最大垂直走査範囲 ： 150㎛（ピエゾスキャン）、20㎜（モータスキャン） ・試料ステージ ： 300㎜☓300㎜（サイズ）、±100㎜（可動範囲）、164㎜（高さ方向のレンズまでの最大サイズ） |
| 設置場所 | 群馬産業技術センター（前橋） |
| 担当係 | 計測係 |
| 連絡先 | ＴＥＬ：０２７－２９０－３０３０ |
| 導入年度 | 平成２７年度 |
| 補助事業名 | 平成２６年度地域オープンイノベーション促進事業 （戦略分野オープンイノベーション環境整備事業） |
| 機器名 | 広域大段差対応白色干渉計 |
| 型式 | nexview |
| メーカー名 | Zygo社 |
| 外観写真 | |
| このような試験が可能です （用途） | 人工心臓の弁や人工関節等インプラント部品の表面性状や、注射針、内視鏡部品、光学用レンズ等など、３Ｄ画像による微細形状部の高精度測定が可能です。特に高さ方向は、オングストローム台の高精度な測定が可能です。 |
| 仕様 | ・測定原理 ： コヒーレンス走査型干渉法（CSI）、位相シフト干渉法（PSI） ・最大垂直走査範囲 ： 150㎛（ピエゾスキャン）、20㎜（モータスキャン） ・試料ステージ ： 300㎜☓300㎜（サイズ）、±100㎜（可動範囲）、164㎜（高さ方向のレンズまでの最大サイズ） |
| 設置場所 | 群馬産業技術センター（前橋） |
| 担当係 | 計測係 |
| 連絡先 | ＴＥＬ：０２７－２９０－３０３０ |
| 導入年度 | 平成２７年度 |
| 補助事業名 | 平成２６年度地域オープンイノベーション促進事業 （戦略分野オープンイノベーション環境整備事業） |
