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大気圧プラズマを用いた電子部品めっきの三次元前処理技術の開発のご紹介


研究開発の概要  近年、情報家電産業では、電子機器の高機能化、小型化、薄型化のニーズが高まっており電子部品の高密度実装を実現するめっき技術、すなわち電極表面のめっき厚を極薄化することが最重要課題である。当該課題を達成する技術として、本研究開発では大気圧誘導結合プラズマ(以下、AICPと略す)を用いためっき前処理技術に着目した(図1)

従来技術と本技術の比較
       図1 従来技術と本技術の比較
製品サンプルの写真 AICPにより形成したNi薄膜のFE-SEM像
 図2 AICPにより形成したNi薄膜のFE-SEM像

無電解Niめっきの実施例
      図3 無電解Niめっきの実施例
製品サンプルの特徴  ガスのAICP 発生技術をベースに、液体原料をプラズマ内に導入することが可能なAICP 装置を開発した(図2)。めっきの前処理として、NiCl2ミスト含有AICPに水素、ギ酸を同時に供給し、Ni薄膜を基板表面に形成した。上述の技術により前処理された部位に対して、Ni 無電解めっきを施した(図3)。
 本技術を用いることで、以下の特徴を有するめっき前処理工程を施工可能である。
(1)めっき厚の制御が容易である。
(2)三次元実装が可能である。
(3)大気圧下での高速連続処理が可能である。
(4)環境調和型のプロセスである。
産業技術センターの役割 産業技術センターでは、試作されたNi薄膜についてX線光電子分光分析や電子顕微鏡観察を行い、最適なプラズマ処理の条件決定にあずかり、製品化につながった。
課題および今後の予定 装置の完成後、めっき前処理における生産ラインの構築ついて、ソフト面およびハード面を総合した事業の受注を開始する予定。
共同研究企業 株式会社リバーベル(東京都台東区台東2丁目7−3瀬戸ビル 4F)
鐘ヶ江正巳
千葉工業大学(千葉県習志野市津田沼2−17−1)
尾上薫
太陽化学工業株式会社(群馬県高崎市倉賀野町2947−1)
牧野聡朗
担当者名 群馬産業技術センター 研究調整官 宮下喜好
               材料技術係 山本亮一、徳田敬二、河合貴士