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太陽電池パネル用高加工精度 レーザエッチング装置のご紹介


研究開発の概要  本装置は、1400mm×1100mmのガラス基板上に成膜された表面電極・アモルファスシリコン膜・裏面電極のレーザ加工を行う装置であり、昨年度までに株式会社エムアンドシーが開発した薄膜太陽電池用レーザエッチング装置の加工精度と吸塵性能を更に大きく向上させたものである。本装置に組み込まれているX−Yテーブルには、高度な移動精度が要求されており、本装置の開発において、産業技術センターは、X−Yテーブルの移動精度、特に位置決め精度・真直度の測定・評価に貢献した。
製品サンプルの写真 レーザエッチング装置
     (PVJapan2009展示発表済み)
製品サンプルの特徴 ・本体高剛性化により、加工長1400mmでも5μm以内の真直度を達成。
・流れの可視化により独自の吸塵方法((株)エムアンドシー特許取得済み)の改良を行い、吸塵性能を更に向上。
・大型ガラス基板 (1400mm×1100mm )の加工に対応
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 従来のレーザエッチング装置に対し大幅に真直度が向上しているので、回路パターンの高密度化が図れ、太陽電池の発電効率が向上。
課題および今後の予定 レーザ加工ラインの加工精度(真直度) の最適化及びレーザ加工条件の最適化を行い、さらにレーザエッチング装置の高精度化を図ってゆく
共同研究企業 (株)エムアンドシー
担当者名 群馬産業技術センター 計測係 細谷 肇、中村哲也、横山 靖