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薄膜太陽電池用レーザエッチング装置のご紹介


研究開発の概要  (株)エムアンドシーでは、薄膜太陽電池用レーザエッチング装置(1400mm×1100mmのガラス基板 上に成膜された表面電極・裏面電極・N型半導体・P型半導体・アモルファスシリコン膜のレーザ加工を行う 装置)を開発しました。この開発に当たって、本装置の重要部分であり、ガラス基板の高度な移動精度が要求 されるX−Yテーブルに関して、当産業技術センターにおいて、X−Yテーブルの移動精度(特に、位置決め 精度・真直度の測定・評価)を実施し、(株)エムアンドシーの製品開発を支援しました。
製品サンプルの写真 製品サンプル
製品サンプルの特徴 ●太陽電池用ガラス基板表面からの高精度なレーザエッチングが可能
●独自の吸塵方法により塵埃の影響なし((株)エムアンドシー特許取得済み)
●大型ガラス基板(1400mm×1100mm)に対応
    ↓
●従来のウェットエッチングに対し、太陽電池パネル製造工程の大幅な簡素化が可能。
課題および今後の予定  薄膜太陽電池用レーザエッチング装置の性能向上を図るため、ガラス裏面から発生する塵埃(アブレーショ ン)の更なる吸塵効率の向上対策(吸塵部の形状や配管方法等の改良)及び、高精度な位置決め精度を安定し て稼働できるシステムにするための研究を行います。
共同研究企業 株式会社 エムアンドシー
担当者名 群馬産業技術センター 細谷 肇