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施設の紹介

第1研究棟(B-203)

部屋名 薄膜製造実験室
温湿度試験室 機能触媒調製室 薄膜製造実験室 表面処理試験室 耐食性試験室 準備室 化学分析室 薬品保管庫 故障解析試験室 薄膜製造実験室

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[イノベーションサポート棟]
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[第2研究棟]
[管理棟]
[交流棟]

主要な機器 高周波スパッタリング薄膜製造装置、複合多層薄膜製造評価システム、プラズマ基礎研究装置 
部屋の概要 機能性薄膜製造と評価、プラズマ処理などを行ないます。
薄膜製造実験室

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