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施設の紹介

イノベーションサポート棟(A-114)

部屋名 微小部表面分析室
機器分析・測定室 電子顕微鏡室 質量分析室 表面分析室 長さ校正室 形状計測室 電磁気計測室 電子回路実験室 微小部表面分析室 材料分析機器室 耐候性試験室 精密測定室 材料物性試験室 エネルギー加工試験室 微小部表面分析室

[イノベーションサポート棟]
[第1研究棟]
[第2研究棟]
[管理棟]
[交流棟]

主要な機器 ナノ分解微小部表面分析装置、電子線マイクロアナライザー
部屋の概要 表面分析装置を用いて試料表面の元素情報、化学情報を得ることで機能性薄膜、酸化膜の構造解析や微小異物の解析等が行えます。
微小部表面分析室

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