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飛行時間型二次イオン質量分析装置のご紹介

〜各種材料のナノメータースケール表面の化学状態を解析します〜


試料表面に付着する成分の定性分析、面分析、深さ方向分析が行えます。

機 器 名 飛行時間型二次イオン質量分析装置
型 式 PHI nano TOF
メーカー名 アルバック・ファイ(株)
外観写真 外観写真
このような試験が可能です
(用途)
本装置は、固体試料表面に一次イオン(Bi)ビームを照射し、その表面から放出される二次イオンを質量分離して、固体表面を同定します。質量分析器には飛行時間型を用いており、精密質量分析が可能です。
 電子デバイス、セラミックス、金属、樹脂材料等のナノスケール表面の無機・有機化合物を高感度に分析するとともに、その分布状態をイメージングすることが可能です。さらに、低損傷スパッタリングを併用し、表面から深さ方向に二次イオンを測定することにより、三次元的に観察できます。また、トランスファーベッセルを使用し、試料を大気に触れさせることなく装置に導入することも可能です。
仕 様 ■励起源(一次イオン照射系)
 ビスマスイオン銃
■スパッタイオン銃
 Arガスクラスターイオン銃(GCIB)
■分析系
 飛行時間型質量分析計、三重収束型静電アナライザー
■付属品
 トランスファーベッセル
設置場所 群馬産業技術センター(前橋)
担 当 係 材料解析係
連 絡 先 TEL:027−290−3030
導入年度 平成30年度
補助事業名 地方創生拠点整備交付金事業