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広域大段差対応白色干渉計のご紹介

〜 白色光の干渉により、微細な形状や表面粗さを三次元的に測定します。微細形状を測定する測定機としては比較的広範囲な測定が可能です 〜


機 器 名 広域大段差対応白色干渉計
型 式 nexview
メーカー名 Zygo社
外観写真 広域大段差対応白色干渉計外観写真
このような試験が可能です
(用途)
人工心臓の弁や人工関節等インプラント部品の表面性状や、注射針、内視鏡部品、光学用レンズ等など、3D画像による微細形状部の高精度測定が可能です。特に高さ方向は、オングストローム台の高精度な測定が可能です。
仕 様 ・測定原理 : コヒーレンス走査型干渉法(CSI)、位相シフト干渉法(PSI)
・最大垂直走査範囲 : 150μm(ピエゾスキャン)、20mm(モータスキャン)
・試料ステージ : 300mm×300mm(サイズ)、±100mm(可動範囲)、164o(高さ方向のレンズまでの最大サイズ)
設置場所 群馬産業技術センター(前橋)
担 当 係 計測係
連 絡 先 TEL:027−290−3030
依頼試験
手数料
精密測定試験(表面性状測定・1ショット測定)  2,950円/件
精密測定試験(表面性状測定・スティッチング測定・最初の1時間) 5,970円/時間
精密測定試験(表面性状測定・スティッチング測定・2時間目以降) 1,530円/時間
機器開放
使用料
現在、機器開放には対応しておりません
導入年度 平成27年度
補助事業名 平成26年度地域オープンイノベーション促進事業
(戦略分野オープンイノベーション環境整備事業)