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高機能電子線マイクロアナライザーのご紹介

〜 材料・製品の表面微小部の形態観察、元素組成分析ができます 〜


固体試料に細く絞った電子線を照射し、試料から発生する特性X線を検出することにより、試料微小部を分析する装置です。電界放射型電子銃により空間分解能が飛躍的に向上し、従来機では困難であった数百ナノメートル領域での表面形態観察や元素組成分析が可能です。

機 器 名 高機能電子線マイクロアナライザー
型 式 EPMA-8050G
メーカー名 株式会社島津製作所
外観写真 高機能電子線マイクロアナライザー外観写真
このような試験が可能です
(用途)
・異物や不具合製品の表面微小部の元素定性分析
・線分析、面分析により元素の分布状態分析
・二次電子像や反射電子像による表面形態観察
仕 様 ■電子銃
 ショットキーエミッタ(電界放射型電子線銃)
 二次電子像分解能:3nm(加速電圧30kV) 分析条件により変動
■X線分光器
 波長分散型5チャンネル (分析元素:ホウ素(5B)〜ウラン(92U))
エネルギー分散型 (型式: EDAX Octane Elect)
■試料形状・サイズ
 通常 25mmφ×10mm厚以下
 試料は真空中に導入します。
 必要に応じて、金コーティングなどの導電処理を施します。
 樹脂包埋、研磨、イオンミリング等の前処理についてはご相談下さい。
設置場所 群馬産業技術センター(前橋)
担 当 係 材料解析係
連 絡 先 TEL:027−290−3030
導入年度 令和元年度
補助事業名 地方創生推進交付金事業